通过快速抽真空加速溶剂挥发,,,,,,实现涂层的高效结晶与辅助成膜;;;;;;装备接纳上抽式设计与多层可调均流板,,,,,,确保腔体内流场匀称稳固;;;;;;集成顶升机构并兼容MES系统,,,,,,专为一连在线生产打造。。。。。。。
腔体尺寸:240×240×80mm ~ 450×450×120mm 真空速率:标配 10s 可达 10Pa;;;;;;可选 2s 可达 150Pa、3s 可达 150Pa、5s 可达 10Pa 等 产能节奏:约 1ppm(需配合高速上下料系统实现)