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高温半片自动化上下料机
产品说明：

扩散&LP自动化是一款将未工艺硅片从花篮取出插入到石英舟中，，，，，并将工艺后硅片插回花篮的装备 。。。。 。。。。

装备特征：

1. 结构设计合理，，，，，产能高，，，，，尺寸小

2. 陶瓷吸盘，，，，，吸盘具有导片涂层，，，，，大大镌汰静电吸附导致的碎片

3. 离子爆发器，，，，，除静电效果优异，，，，，且寿命提高一倍以上

4. 防翘曲设计，，，，，针对BC半片硅片特点，，，，，卡片低、碎片少

5. 各部件均做振动优化，，，，，镌汰硅片晃动导致的崩边

产品参数：
参数 参数值
产能 24000半片/小时
碎片率 ≤0.02%
EL不良 ≤0.02%
正常运行时间 98.5%
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