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本装备接纳笔直涂覆工艺，，，，，， ，专为实现大面积、高一致性的平面湿法薄膜制备而设计。。 。。。 。。搭载高带宽运动控制系统，，，，，， ，准确协同模头升降、供料与速率；；；；；；集成纳米级在线丈量传感器，，，，，， ，全程包管涂层厚度匀称性。。 。。。 。。
涂覆基材笼罩规模：600×600mm~ 2400×1200mm
涂覆湿厚：≥3um
成膜干厚：优于5%（@500nm）
最大涂覆速率：80mm/s
产能节奏：约1ppm（需配合高速上下料系统实现）
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