7790必发

实验室级真空结晶装备
产品概述：

通过快速抽真空加速溶剂挥发，，，，，实现涂层的细密结晶与辅助成膜；；；；；； ；；装备�？？？？？？？？榛杓疲�，，，，可凭证工艺需求，，，，，无邪设置上抽式、下抽式或内部加热式等多种计划。。。。。。。

焦点参数：

适配基材尺寸：100×100mm~400×400mm（含硅片）
腔体尺寸：240×240×80mm ~ 450×450×120mm
真空速率：标配 10s 可达 10Pa；；；；；； ；；可选 30s 可达 1Pa、5s 可达 10Pa、3s 可达150Pa 等

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