槽式碱抛自动化是一款将硅片从料盒中自动装载至花篮中,,,,,搬运到槽式工艺机中并在工艺后取出花篮的装备。。。。。。。。
1. 实时监控料位,,,,,杜绝料位不稳导致的带片、搭片
2. 料盒顶升,,,,,自力顶升伺服,,,,,包管物料不平衡时的装备稳固产出
3. NG剔除彻底,,,,,没有碎片卡住轨道或进入花篮
4. 硅片入花篮位置整齐度可做到±1mm,,,,,入底齿且无崩边
5. 机械人抓取花篮举行装卸压杆,,,,,伺服电机控制压杆升降
| 参数 | 参数值 |
| 产能 | 32000 半片 / 小时 |
| 碎片率 | ≤0.01% |
| EL不良 | 0% |
| 正常运行时间 | 98.5% |