扩散 &LP 自动化是一款将未工艺硅片从花篮取出插入到石英舟中,,,,,, 并将工艺后硅片插回花篮的装备。。。。。。
1. 结构设计合理,,,,,,产能高,,,,,,尺寸小
2. 吸盘板接纳碳纤维材质,,,,,,不易变形,,,,,,质量更轻,,,,,,机械人寿命更久
3. 舟定位夹紧力可参数调理,,,,,,是否到位可反响报警
4. 高握持力皮带镌汰皮带跑偏,,,,,,柔性覆膜镌汰皮带印
5. 上料具有半片补片功效,,,,,,杜绝因单轨缺片导致的大饼片
| 参数 | 参数值 |
| 产能 | 14000半片/小时 |
| 碎片率 | ≤0.03% |
| EL不良 | ≤0.03% |
| 正常运行时间 | 98.5% |