接纳特殊涂布结构，，，，，，知足10μm-60μm厚度涂布规模
情形控制系统； ；；；；；；；降低车间情形控制本钱
高精度面密度及膜厚闭环控制系统； ；；；；；；；成膜质量更高
高细密快速开关阀及涂布稳压手艺，，，，，，知足间隙涂布需求，，，，，，提高涂布厚度匀称性
装备参数
涂布速率
0.1~50m/min
涂布宽度
max500
宽度精度
±0.3mm
膜厚规模
10µm~60µm
正背面错位公差
±0.4mm
收卷对齐度
±0.5mm
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