製品メリット：
1. M6-M10-G12サイズのウェハーに対応。。。。。
2.工程タンク大流量循環、マルチチャンネルバブリング調整可能。。。。。
3.小体積の内外槽とオンライン加熱方法を採用し、温度、薬液の均一性を確保する。。。。。
4.テクスチャー加工された後、ピラミッド状のテクスチャーが均一、腐食量の深さと反射率を調整することができる。。。。。
5.それは速い液体の変更およびオンライン液体の変更を実現できる。。。。。
6.生産能力：≥9600枚/時間、400pcs/スロット;≥12000枚/時間、600pcs/スロット。。。。。
