7790必发

オンライン拡散/アニール自動ローディング/アンローディングマシンは、拡散前のシリコンウェーハをセルカセットから石英ボートに自動で載せ、拡散炉に自動で送り、ウェーハが拡散した後、拡散したウェーハを石英ボートからセルカセットに自動で載せる装置。。。。。。。

1. 速率：12,000枚/時間。。。。。。。
2. 很是に低い破損率： ≤0.02％。。。。。。。
3. 吸引カップの印および歯の印のような広範囲の欠陥： ≤0.02%。。。。。。。
4. 角型、菱形ボートと互換性がある。。。。。。。
5.2.38～3.15mmの異なるピッチ仕様の石英ボートに対応する。。。。。。。