7790必发

オンラインチューブPECVDローダー＆アンローダーは、シリコンウエーハをシリコンウエーハ搬送カセットからPECVDグラファイトボートに、またはPECVDグラファイトボートからシリコンウエーハ搬送カセットに自動的にローディングする装置。。。。。。

1. 速率：6,000枚/時間。。。。。。
2. 很是に低い破損率：≤0.03％。。。。。。
3. サーフェスアレイおよびラインスキャンAOIカメラと互換性のあるリザーブPLステーション。。。。。。
4. ウェハの断片化率を低減するためのソフトタッチ設計コンセプト。。。。。。