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ウェハーIDマーキングマシン
製品説明:
ウエハーIDマーキングマシンは高精度モーションプラットフォームと完全クローズドループ数値制御システム、高解像度CCD画像位置決め技術とAOI検査機能を採用し、ウエハーIDマーキングと全自動ウエハーローディング、アンローディングに使用でき、設備は完全に自力した知的財産権を有している。。 。。。。 。
製品メリット:
1. ビジョン:±20um、プラットフォームの繰り返し:±10um、機械全体の精度:±125um。。 。。。。 。
2.8インチ、12インチウェハーに対応。。 。。。。 。
3. 着力検出、リアルタイム補正に対応;。。 。。。。 。
4. レーザー:特注レーザー、空冷式、モジュール化設計。。 。。。。 。
5. 実際のニーズに基づいて、各部品をカスタマイズすることができ、お客様のニーズに応じて、オプションで他の機能を追加することができる。。 。。。。 。
高精度マーキング制御
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