製品メリット：
1.画像：±10um、プラットフォームリピート：±5um、マシン全体の精度：±50um；；；；；；； ；
2.シングルヘッドの効率は、通常のダブルヘッドをさらに50％上回ると同時に、8,12inch Foup、Casseteと互換性がある；；；；；；； ；
3.ウエハーの水平になるメカニズムが装備されていて、柔らかいウエハーにマーキングすることができ、高精度のハードウェア構成はウエファーのゆがみ（≤ 12mm）に対処できる；；；；；；； ；
4.レーザー：グリーンレーザー、空冷放熱、モジュール化された設計。。。。。。
